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唐锦仪 先生
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发布时间:2022-07-03 13:17:41
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技能为基础,使用物理或化学办法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技能,为科学研究和实践出产供应薄膜制备的一种新工艺。
真空镀膜加工的基本技能要求
1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应契合GB/T6070的规则。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应设备真空丈量规管,分别丈量各部位的真空度。当发现电场对丈量造成搅扰时,应在丈量口处设备电场屏蔽设备。
3、假如设备运用的主泵为分散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板设备。观察窗应能观察到堆积源的作业情况以及其他关键部位。
真空镀膜加工中环保的说明
三、与金属件结合强度高 一般强度在350-450MPa自然状态下不起皮、不脱落。即可保持金属基件原有的机械性能,又 增加了镀件的耐磨性、耐腐蚀性。
四、耐腐蚀性强 金属件经表面处理后,由于表面形成了一种非晶态镀膜层,因为无晶界,所以抗腐蚀性能 优良。例如:在5%HCI中,含P质量分数为10.9%镍磷合金镀层的耐腐蚀层比ICr18Ni9Ti不锈钢还高出10%HCI中则高出20倍以上。
电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
优点:
1、电子束轰击热源的束流密度高,能获得远比电阻加热源更大的能量密度。
2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内,因而可避免容器材料的蒸发,以及容器材料与蒸镀材料之间的反应,这对提高镀膜的纯度极为重要。
3、热量可直接加到蒸镀材料的表面,因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。
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