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唐锦仪 先生
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发布时间:2022-05-28 07:17:30
真空镀膜加工磁控溅射技术有很多种。每个都有不同的工作原理和应用对象。但有一个共同点:磁场和电子之间的相互作用使电子在靠近目标表面的掩埋螺旋中运行,从而增加电子撞击产生离子的概率。产生的离子在电场的作用下与靶表面发生碰撞,并从靶表面飞溅出去。
在近几十年的发展中,永磁体逐渐被使用,而线圈磁体很少被使用。
目标源可分为平衡源和非平衡源。平衡靶源的涂层均匀,且非平衡靶源的涂层与基材的附着力强。平衡靶源主要用于半导体光学薄膜,非平衡靶源主要用于装饰膜的佩戴。
真空镀膜的方法材料:
(2)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。
(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。
光学镀膜方法材料
(1)氟化镁:无色四方晶系粉末,纯度高,用其制备光学镀膜可提高透过率,不出崩点。
(2)二氧化硅:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好。纯度高,用其制备高质量Si02镀膜,蒸发状态好,不出现崩点。按使用要求分为紫外、红外及可见光用。
请问什么是PVD?
PVD是英文Physical Vapor Deition的缩写,中文意思是“物***相沉积”,是指在真空条件下,用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。
请问PVD镀膜的具体原理是什么?
离子镀膜(PVD镀膜)技术,其原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离,在电场的作用下,使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上。
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