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发布时间：2022-02-12 06:44:12
镀膜设备是一种用于材料科学领域的科学仪器，能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜（包括磁性金属膜）、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜，且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强等。
真空镀膜机是目前使用的真空条件下的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜三大部分组成，排气系统由“扩散泵 + 机械泵 + 罗茨泵 + 低温陷阱 + 多冷”组成。
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。
真空镀膜机对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来。真空镀膜机是由真空炉体，真空泵，控制柜，真空计，冷却系统等部件组成，真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
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