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唐锦仪 先生
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发布时间:2021-11-20 10:05:45
真空镀膜技术一般分为两大类,即物***相沉积技术和化学气相沉积技术。
物***相沉积技术是指在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子,直接沉积到基体表面上的方法。化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积的等离子化学气相沉积等。
真空镀膜技术一般分为物理液相堆积技术和有机化学液相堆积技术两类。物理学液相堆积技术是指在真空泵标准下用各种物理方法将电镀材料挥发成分子、分子结构或弱电解质成正离子,立即堆积在基础表层的方式。
利用化学物质的热挥发和离子轰击分子在化学物质表层的磁控溅射等物理学全过程,完成化学物质分子从源化学物质到塑料薄膜的控制转移全过程。多功能化学气相沉积
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。
真空镀膜加工设备完成真空镀膜过程其工艺之多非常复杂,真空镀膜加工原理有不同可分很多种类,因为真空镀膜加工工作环境要要求高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的真空镀膜加工,影响均匀性的因素也不尽相同。
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