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真空电镀设备膜厚的不均匀问题

无论监控仪精度怎样，它也只能控制真空室里单点位置的膜厚，一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的，那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘，应该在使用中注意以上几点来尽量避免，除此也要注意经常清洗，避免灰尘越积越多。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性，但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的，所以几乎是不可能消除的，但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响化。

在过去几年中，越来越多的用户要求镀膜系统制造厂家提供的小规格、简便型光学镀膜系统，同时，用户对性能的要求不仅没有降低，反而有所提高，特别是在薄膜密度和保证吸水后光谱变化小化等方面。

现在，系统的平均尺寸规格已经在降低，而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。因此，选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑：对镀膜产品的预期性能，基片的尺寸大小和物理特性以及保证高度一致性工艺所必需的所有技术因素。同时由于PVD是一种干法镀技术,可以避免湿法镀时酸性或碱性电解质溶液残留在磁体孔隙内和电镀过程中磁体吸氢而导致镀层脆裂的缺点。

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。

那怎样去维护镀膜设备呢？

当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油。连续使用半年以上，再将真空泵油时应该将油盖打开，用布擦拭箱内的污垢。

为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因很多，所以要解决这些原因稳定镀膜的效果。

装饰性真空镀的涂层一般分为底涂层和面涂层两种，它们主要起提高膜层的结合力，降低镀件表面的粗糙度，提高光亮度，保护金属膜层的作用。

真空镀膜设备若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。所以应当注意以下几点：

真空镀膜设备使用后，必须要定期对设备进行清洁维护；保证设施设备及操作环境清洁；

规范操作人员及操作要求；源材料必须要符合必要的纯度要求；降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘***。

真空镀膜设备涂层刀具的后处理工艺开始受到人们的广泛关注。

1、使用真空镀膜机涂层刀具，零件已加工表面质量较好。

2、真空镀膜机涂层材料与被加工材料之间的摩擦系数较小，所以真空镀膜机涂层刀具的切削力小于未涂层刀具。

3、涂层刀具综合性能良好，涂层硬质合金刀片有较好的通用性，一种涂层硬质的刀片具有较宽的使用范围。

4、真空镀膜机表面涂层材料具有很高的耐磨性和硬度，且耐高温。和未涂层的刀具比，涂层刀具允许采用较高的切削速度，提高了切削加工效率，也提高了在相同的切削速度下刀具的寿命。